微量氧分析仪是一种常用的分析仪器，具有性能稳定、操作简便、适用范围广、可靠性高等优点。微量氧分析仪在使用过程中会也会由于环境及自身操作问题造成一定的故障，对于仪器的正常使用会受到一定的影响，那么使用微量氧分析仪的过程中具体要注意哪些方面呢?
1、管线材质
基本上以铜质或不锈钢管线为好，其次选聚四氟乙烯管。禁选乳胶管、白胶管之类管材，其气密性和材质抗渗透性太差，测量微量氧在标准测量压力下误差太大。管线外径通常我们选择6毫米或1/4IN，也有选择3毫米或1/8IN，总之，优选不锈钢管，清洗、脱脂，保持管内壁光滑洁净，对于痕量级(〈1PPMV)氧的分析，应选择内壁抛光的不锈钢管。所选择的阀门、接头，死体积应尽可能小。
2、氧分析仪的配套管线
应确保密封，微小的泄漏都会使环境空气中的氧扩散进来，从而使测量数值偏高。氧分析仪虽然在测量中，样气压力大于环境压力，但样气中的氧是微量级的，根据法拉利定律，氧的分压与其体积含量成正比，大气中含有约为21%的氧，与以PPM计算浓度的样气的氧分压相差一万倍左右，因而气样中微量氧的分压远低于大气中的氧分压，当出现泄漏时，大气中的氧便会从泄漏部位迅速扩散进来。
取样管线应尽可能短些，接头尽可能少，要保证接头及阀门密封良好，管线连接完毕后，应做气密性检查。气密性检查的要求：0.25MPAm测试压力下，30分钟，压降不大于0.01MPA。
3、样品
水分在管壁上冷凝凝结，造成对微量氧的溶解吸收，应根据情况对取样管线采取绝热保温或伴热保温措施。检测液氮中的微量氧时，尤其要注意加温措施，不然，由于氧沸点低于氮沸点13度，样品气不均匀气化，会使测量值严重偏低。
样品气中不能含有油类组分或固体颗粒物，以免引起渗透膜阻塞和污染，不应含有硫化物、磷化物或酸性气体成分。这些组分会对燃料电池，特别是碱性燃料电池造成危害。
4、其他
微量氧分析仪的测量位应尽可能与测量单位接近，以避免过长的管线和过多的不确定因素，影响测量数据的可靠性。